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碳化鉭TaC涂層
所屬分類：
半導(dǎo)體應(yīng)用
概要：
碳化鉭涂層是用青島高泰專有的化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝，在高純度石墨基底表面氣相沉積碳化鉭 (TaC)制備而成。
- 產(chǎn)品描述
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- 商品名稱: 碳化鉭TaC涂層
碳化鉭涂層是用青島高泰專有的化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝，在高純度石墨基底表面氣相沉積碳化鉭 (TaC)制備而成。
介紹
碳化鉭涂層是用青島高泰專有的化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝，在高純度石墨基底表面氣相沉積碳化鉭 (TaC)制備而成。
優(yōu)勢(shì)
● 卓越的耐熱性
● 防止石墨基底顆粒分離、氣體及雜質(zhì)釋放
● 出色的抗腐蝕性
應(yīng)用
● 碳化硅(SiC)單晶生長(zhǎng)部件
● 碳化硅外延生長(zhǎng)部件
● MOCVD 部件
● 高溫部件
性能
項(xiàng)目
單位
數(shù)值
厚度
μm
30~50 (可定制)
密度
Mg/m3
14.5
熔點(diǎn)
℃
3985
硬度
HK
1550
電阻率
μΩ?m
0.15
熱導(dǎo)率
W/m?K
9-22
熱膨脹系數(shù)
10-6/K
7.1
*因目前全面檢測(cè)涂層的方式有限，上述部分?jǐn)?shù)據(jù)源于以下文獻(xiàn)，而非保證值
關(guān)鍵詞：
碳化鉭TaC涂層
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青島高泰新材料有限公司
擁有20多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和專業(yè)的團(tuán)隊(duì)，專注于碳素新材料產(chǎn)品，致力于為客戶打造高品質(zhì)、高性能的碳素新材料產(chǎn)品。
我們保持著對(duì)碳素新材料的熱情和專注，通過(guò)不斷的努力和創(chuàng)新，為半導(dǎo)體/新能源/光伏及熱工/生物材料等行業(yè)的客戶提供定制化的解決方案，滿足不同領(lǐng)域的需求。
我們期待與您攜手合作，共同開(kāi)創(chuàng)美好的未來(lái)!
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